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  • MBE-1000全自动分子束外延系统
    2021-04-01
    产品概述 Product Overview 费勉仪器推出了MBE-1000分子束外延系统,可进行5×3,4×4,单片6, 单片8衬底外延生长。该系统可实现全自动传样和生长,非常适用于化合物半导体器件的批量生产。生长室采用双温区衬底加热,实现生长温度均匀可控。MBE-1000系统包含1
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  • MBE-800
    2021-02-02
    产品概述 Product Overview 为了实现在4英寸晶圆上外延生长半导体材料,费勉仪器推出了MBE-800分子束外延系统。标准版系统采用双温区衬底加热器,并包含12个蒸发源端口,可实现复杂结构薄膜的精确逐层生长。MBE-800的定制版本也涵盖了特定的生产需求,例如超高真空离子
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  • MBE-600
    2021-01-12
    产品概述 Product Overview MBE-600系统非常适合III-V,II-VI和其他化合物半导体材料应用,该系统可以对1、2和3英寸衬底进行外延,并且其垂直腔室设计以及各种先进组件可实现逐层精确的外延。 MBE-600的突出特点是系统的高可靠性、多功能性和紧凑性,这些功能使MBE-600
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  • MBE-350
    2021-02-08
    产品亮点 Highlights ● 生长腔为柱状结构,材质为SS316不锈钢 ● 模块化设计,既满足现有材料制备的需求,也提供未来扩展可能性● 配置及性能指标满足高精度薄膜材料(衬底尺寸最大可达2-inch)制备的需求 ● 针对氧化物薄膜生长进行设计、配置优化● 应用范
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  • MBE-300
    2021-01-15
    产品亮点 Highlights ● 生长腔为柱状结构,材质为SS316不锈钢 ● 模块化设计,既满足现有材料制备的需求,也提供未来扩展可能性● 配置及性能指标满足高精度薄膜材料(衬底尺寸最大可达1-inch)制备的需求 ● 应用范围广,如:超导薄膜,拓扑绝缘体,氧化物,
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  • Sphere-300
    2021-01-14
    产品亮点 Highlights ● 生长腔为球型结构,材质为SS316不锈钢 ● 模块化设计,既满足现有材料制备的需求,也提供未来扩展可能性● 结构紧凑,占地面积小 ● 配置及性能指标满足高精度薄膜材料制备的需求● 应用范围广,如:超导薄膜,拓扑绝缘体,过渡金属硫
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