薄膜生长

当前位置:首页 >> 系统产品 >> 薄膜生长
氧化物分子束外延系统
费密仪器科技在Oxide MBE 系统上具有多年的经验,曾经设计和搭建了国内首套与表面分析仪器无缝连接的Oxide MBE设备,并生长出了高质量的单晶样品。

more

臭氧提纯系统
臭氧(O3)是氧气(O2)的同素异形体,密度为氧气的1.5倍,凝固点和沸点均高于氧气。臭氧具有很强的氧化性,因此在化学合成中具有很多的应用,例如在Oxide MBE上,臭氧可以替代传统的等离子源来完成薄膜的氧化,同时避免了等离子源对表面的损坏,可以得到更高质量的单晶。同时臭氧的强氧化性也使得氧化物的生长可以在更高的真空度下进行,也能提高生长薄膜的纯度和晶体质量。

more

CUBIC 分子束外延系统

产品特点

  • Cubic-200分子束外延生长系统由一体成型的不锈钢腔体组成,无焊接部分,确保了最低的泄露可能性;
  • 6个CF100和8个CF40的超高真空标准法兰接口,满足了分子束外延生长各项部件的安装需求;
  • 配有300L/s抽速全磁悬浮分子泵及无油前级机械泵,全量程真空规(或离子规),INFICON(或Lesker)膜厚测量仪,4轴高温样品架,最多可装配7个蒸发源,满足多种原子层级别薄膜材料的生长需求。

more

关于我们

产品服务

系统产品

部件产品

法律条款

联系方式

  • 费勉仪器科技(上海)有限公司
  • 地址:上海市富联二路1894
  • 电话:+86-21-6555 7285 / 7287
  • 传真:+86-21-6555 7283
  • E-mail:info@fermi-instruments.com
微信公众号

@2017 版权所有:费勉仪器科技(上海)有限公司 沪ICP备12041142号

技术支持:上海屹超