复杂系统集成

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XPS/UPS System

高度定制化的UPS/XPS系统

    费密仪器科技在UPS/XPS 系统上具有多年的系统设计及集成经验,参与了国内多个重点设备项目的搭建。

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超高真空圆形传样系统
超高真空圆形传样系统(UHV RDC System)是费勉仪器为超高真空复杂系统的样品传递专门设计研发的,可连接多个超高真空腔体(例如:快速进样室,样品生长腔,衬底制备腔,电子结构分析腔等),传样过程中保证超高真空量级的真空增量(1E-10mbar)。

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超高真空直线传样系统
 随着科学技术的发展, 样品制备手段和样品分析手段也原来越多, 将具有活性的样品无损的从制备设备传递到表征设备,或者从一个表征设备传递到另一个表征设备,成为了得到材料本征信息的关键。 

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