真空系统配件

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Cubic Chamber
1.     由一体成形不锈钢SS316材料制成,没有焊接部分,极大的降低了放气率和泄露风险;

2.     8个CF40法兰口,6个CF100法兰口;

产品特点

1.     由一体成形不锈钢SS316材料制成,没有焊接部分,极大的降低了放气率和泄露风险;

2.     8个CF40法兰口,6个CF100法兰口;

3.     可以扩展连接RHEED设备;

4.     最多可安装7路蒸发源;

5.     腔体在150度完全烘烤后,极限真空好于3x10-10 mbar;

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