薄膜生长

当前位置:首页 >> 系统产品 >> 薄膜生长
氧化物分子束外延系统
费密仪器科技在Oxide MBE 系统上具有多年的经验,曾经设计和搭建了国内首套与表面分析仪器无缝连接的Oxide MBE设备,并生长出了高质量的单晶样品。

费密仪器科技在Oxide MBE 系统上具有多年的经验,曾经设计和搭建了国内首套与表面分析仪器无缝连接的Oxide MBE设备,并生长出了高质量的单晶样品。

 

       我们为科研用户提供高等级标准化的Oxide MBE,系统包含了超高真空快速进样腔体和主生长腔,最大可在2inch的衬底上进行高质量单晶的外延生长。系统采用了高纯臭氧源替代传统的等离子体氧化 源,可以在更高的真空度和更温和的环境下完成氧化物的生长,因此晶体的质量优于传统方式的晶体;配合标配的8路蒸发源和自动化的挡板控制系统,可以完成多 元氧化物的生长(并可以连续调节复杂氧化物材料的掺杂比例,这是其他任何手段都无法比拟的),晶体生长的精度优于0.2%分子层,并可以进行复杂的氧化物 异质结的生长。

 

       针对特定的用户需求,我们也提供定制的Oxide MBE系统,此类系统可以与先有的测量设备无缝连接,样品可以在原位完成测量,这种原位生长+测试的方式可以最大限度的排除空气污染等外界因素,最大限度的揭示出材料的本征特性,已经成为了目前科研仪器的主要发展方向。

相关产品>

高温蒸发源

EC2HT型号的高温蒸发源最高加热温度可达2000℃,内部独特的加...

read more

关于我们

产品服务

系统产品

部件产品

法律条款

联系方式

  • 费勉仪器科技(上海)有限公司
  • 地址:上海市富联二路1894
  • 电话:+86-21-6555 7285 / 7287
  • 传真:+86-21-6555 7283
  • E-mail:info@fermi-instruments.com
微信公众号

@2017 版权所有:费勉仪器科技(上海)有限公司 沪ICP备12041142号

技术支持:上海屹超