薄膜生长

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CUBIC 分子束外延系统

产品特点

  • Cubic-200分子束外延生长系统由一体成型的不锈钢腔体组成,无焊接部分,确保了最低的泄露可能性;
  • 6个CF100和8个CF40的超高真空标准法兰接口,满足了分子束外延生长各项部件的安装需求;
  • 配有300L/s抽速全磁悬浮分子泵及无油前级机械泵,全量程真空规(或离子规),INFICON(或Lesker)膜厚测量仪,4轴高温样品架,最多可装配7个蒸发源,满足多种原子层级别薄膜材料的生长需求。

产品特点

  • Cubic-200分子束外延生长系统由一体成型的不锈钢腔体组成,无焊接部分,确保了最低的泄露可能性;
  • 6个CF100和8个CF40的超高真空标准法兰接口,满足了分子束外延生长各项部件的安装需求;
  • 配有300L/s抽速全磁悬浮分子泵及无油前级机械泵,全量程真空规(或离子规),INFICON(或Lesker)膜厚测量仪,4轴高温样品架,最多可装配7个蒸发源,满足多种原子层级别薄膜材料的生长需求。







技术参数

  • 超高真空腔体: SS304不锈钢或者Ti,一体成型

  • 法兰数目:8个DN40CF,6个DN100CF;

  • 抽气系统:Edwards全磁悬浮STP301(或者Pfeiffer HiPace 300)分子泵,300L/s抽速,nXDS10i无油涡旋机械泵;

  • 膜厚测量仪:FTM2400-H2R 膜厚测量仪,带有100mm行程线性移动装置;

  • 真空规: UHV-24离子规(测量范围:E-3 mbar ~ E-11 mbar) 或者 IFRG-730全量程规(大气压~5E-10 mbar);

  • 高温样品架:
    4轴手动控制
    X/Y(±8mm);
    Z(±75mm);
    θ(±180度);
     温度范围:室温~1200K
    (可选配低温制冷模块,工作文图:150K~1200K);

  • 极限真空:<5E-10mbar;

  • 烘烤温度:150℃;

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