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超高真空圆形传样系统
超高真空圆形传样系统(UHV RDC System)是费勉仪器为超高真空复杂系统的样品传递专门设计研发的,可连接多个超高真空腔体(例如:快速进样室,样品生长腔,衬底制备腔,电子结构分析腔等),传样过程中保证超高真空量级的真空增量(1E-10mbar)。

超高真空圆形传样系统(UHV RDC System)是费勉仪器为超高真空复杂系统的样品传递专门设计研发的,可连接多个超高真空腔体(例如:快速进样室,样品生长腔,衬底制备腔,电子结构分析腔等),传样过程中保证超高真空量级的真空增量(1E-10mbar)。
性能特点

  • 腔体尺寸可根据实际需求进行定制;

  • 样品伸出距离:375 ~ 750mm;

  • 样品传递方向可变,例如:水平转垂直,水平朝下转水平朝上,等;

  • 标准真空泵配置:离子泵+TSP;

  • 最多可连接腔体:8个;

  • 极限真空:好于E-10 mbar;


相关照片:

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(图 1)
超高真空圆形传样系统实物图

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(图 2)
超高真空RDC机械臂

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(图 3)

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