蒸发源

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高温蒸发源

EC2HT型号的高温蒸发源最高加热温度可达2000℃,内部独特的加热丝设计保证了坩埚受热极其均匀, 并使得蒸发源本身具有更突出的使用稳定性和寿命;

多层线接触式钽筒隔热设计,大大降低了热辐射的比例,增加了热量的利用率,是获得2000℃高温的关键保证;

产品特点

  • EC2HT型号的高温蒸发源最高加热温度可达2000℃,内部独特的加热丝设计保证了坩埚受热极其均匀, 并使得蒸发源本身具有更突出的使用稳定性和寿命;
  • 多层线接触式钽筒隔热设计,大大降低了热辐射的比例,增加了热量的利用率,是获得2000℃高温的关键保证;
  • 底部水冷设置,可有效阻隔加热区域的热量向法兰端的传递,降低非加热区域的放气;
  • 热偶固定方式的改进使其能精确测得坩埚所在位置温度,结合本公司的PID控温器选件,能将温度精度提高至±0.1℃.

技术参数

  • 挡板装置:无;
  • 加热丝类型:Ta;
  • 热偶类型:Re/W合金 (C型热偶);
  • 工作温度:300-2000℃;
  • 温度稳定性:±0.1℃ (配合HEAT PRO-2 PID温控器使用);
  • 最高放气温度:2000℃;
  • 烘烤温度:150℃;
  • 坩埚体积:~10cc;
  • 坩埚材质:Ta,W,PBN,Al2O3BeO 等可选;
  • 法兰规格:DN40CF;
  • 冷却装置: Feedthrough端自带内置水冷,加热区位置需搭配外置水冷装置.
相关实物图及测试曲线图如下:
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(图 1) 
高温蒸发源
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(图 2 )
功率vs温度曲线图

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(图 3)
Ti束流测试 (Ti熔点1660℃;1453℃饱和蒸汽压为1E-4mbar)
测试使用W坩埚;坩埚口距离晶振大约300mm;1850℃时可获得1Å/s的稳定束流。
 
    

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