蒸发源

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氧化物蒸发源
   本蒸发源采用了成熟的设计,多层的隔热层技术,可以满足大部分真空蒸发的需求,标准的设计为10cc的氧化铝坩埚,可以根据实际蒸发的材料作调整。

  本蒸发源采用了成熟的设计,多层的隔热层技术,可以满足大部分真空蒸发的需求,标准的设计为10cc的氧化铝坩埚,可以根据实际蒸发的材料作调整。

 

        按照使用温度的不同,可以分为:
 

分类

温度范围

控温方式及精度

蒸发材料

低温蒸发源

100~800 C

PID控制, +/- 0.5 C

有机物及低温材料如Sr

中温蒸发源

500~1500 C

PID控制, +/- 0.5 C

Mn等材料

高温蒸发源

900~1800 C

PID控制, +/- 0.5 C

Au等难熔材料

 

         本蒸发源包含了蒸发源,Eurotherm温控器以及自动化的程控电源,出厂时完成了PID设定,到货后即插即用,根据用户的实际需求还可以订制水冷套等组件以达到更好的系统真空。

 

         订购时请告知您所需要的蒸发源长度以便成品更加满足您的要求。



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