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上海科技大学超高真空表面分析及互联系统交付使用

发布时间:2017-09-04 13:43:00 点击次数:972

20176月,费勉仪器科技(上海)有限公司(FERMI INSTRUMENTS)与赛默飞世尔科技合作搭建的超高真空表面分析及互联系统完成安装验收,各项指标均达到设计要求,正式交付上海科技大学用户使用。 

 

制备和表征是材料科学最重要的两方面,在传统的科学中,化学领域更注重制备,物理领域更注重表征,因此要发现一种新材料并充分理解它的性能往往需要经过多个实验组的传递和合作,这大大限制了材料学的发展。特别是进入新时代以来,材料学的领域已经从三维材料的研究越来越多的转向薄膜材料;在电子材料领域,MoS2以及其它一批二维材料已经成为下一代电子材料的热门候选;在催化领域,ZnO等一批二维材料也成为研究的热点。因此,提高材料制备和发展的效率,将两种手段能够无缝的连接起来,实现快速制备和无污染本征性能的测量,已经成为了下一代科研仪器的发展方向。

 

经过与用户的充分讨论和精心设计,FERMI INSTRUMENTSThermoFisher为用户提供了一套结合多种制备和表征功能的系统,包含了以下模块:

 

1.ESCALAB 250XI 多功能XPS系统

      a. 单色化聚焦XPS测试功能;

      b. UPS测试功能;

      c. REELS 测试功能;

      d. ISS测试功能;

 

2.RDC 820 超高真空传样系统

      a. 极限真空好于5E-10 mbar,可以同时连接8套子系统,实现子系统之间的超高真空无损样品传递;

      b. 传样距离(以连接法兰为起点)达到820mm,为目前同类产品中最长,减小了子系统的相互干涉,增大了子系统之间的操作空间,提高了样品传递的用户友好度;

      c. RDC腔体由符合超高真空标准的SS316不锈钢制成,所有法兰及接口采用内焊工艺。

 

3.HPGC高压气体反应池

      a. 采用全石英的反应腔体,最大限度的减少容器对反应过程的影响;

      b. 最高加热温度1200K,最大气压10 bar,两者可同时到达;

      c. 全不锈钢带水冷外罩,保护极端条件下操作者的安全;

      d. 搭配Eurotherm PID温控器和软件,可以实现高精度的控温和程序升温;

      e. 可外挂多路进气系统;

 

4.Cubic MBE 分子束外延系统

      a. 采用全磁浮分子泵和干泵,极限真空好于5E-10 mbar

      b. 最多可搭载7路蒸发源;

      c. 样品台最高加热温度1200K,可扩展直流加热和液氮冷却;

      d. QCM及气动Shutter控制,可以实现可编程的层状材料的生长;

 

其中任一模块都是经过充分测试的成熟系统,但是通过RDC 820 系统,样品可以在超高真空的环境下,在制备和表征之间来回转移,可以实现靶向的材料制备和研发。



这套系统也开创了定制化系统的新思路,即标准化模块的非标系统;FERMI INSTRUMENTS及其合作的供应商通过紧密配合,可以实现AEPES/XPS/STM/MBE等多种标准化系统的对接和联用。


FERMI INSTRUMETNS也愿意和其它科研仪器厂家一起为科学家不断创新提供支持和服务。

 


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