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波士顿学院OxMBE系统完成安装验收

发布时间:2016-06-29 11:26:00 点击次数:872


2016年6月,由费密仪器(FERMI INSTRUMENTS)自主研发设计的氧化物分子束外延生长系统(OxMBE System)在美国Boston College完成安装及验收,并交付客户使用(图 1)。


图 1
OxMBE系统完成安装



波士顿学院(Boston College,简称BC)成立于1863年,是一所私立顶级研究型大学, 为波士顿五大名校(麻省理工学院、哈佛大学、塔夫茨大学、波士顿学院、布兰迪斯大学)之一。BC历史悠久,在美国享有声望,于2006年被列为全美25所“新常春藤”名校之一。BC在2016 U.S.NEWS全美大学综合排名为第30位;在美国KIPLINGER金融杂志2016最有价值私立大学排行榜上BC为全美第19位。


这是费密仪器(FERMI INSTRUMENTS)在美国顶尖高校销售的第一套复杂分子束外延设备,此套系统包括4个主要腔体:Growth Chamber、Load Lock、Transit、High Pressure Gas Cell。主腔体泵组由一套Edwards STP1003/EXT75DX级联分子泵和钛升华泵(TSP)组成,可轻松得到优于1E-10 mbar的本底真空,配有一个变温四轴样品架(工作温度:105K~1200K),低、中、高温蒸发源共4套(最高工作温度分别为:1000℃、1300℃、1500℃和1800℃)(图 2),INFICON膜厚测量仪,可由电脑编程控制的气动挡板系统,STAIB 15KeV RHEED及KSA400 RHEED光斑测量及分析系统,Plasma Atom Source。系统在完成安装及充分烘烤后,根据客户需求,进行了SrTiO3的生长演示,完成了Ti束流(0.5Å/s @1800℃)和Sr束流(0.3 Å/s @475℃)的标定测试,以及O2在E-10 mbar至E-6mbar的精确注入;使用客户提供的SrTiO3衬底,完成RHEED测试并成功观察到衍射图样。Load Lock使用Edwards EXT75DX 分子泵,30min内真空可进入E-7 mbar量级;充分烘烤后可得到优于1E-8 mbar的本底真空。配合费密仪器最新优化的传样装置,可在5min内实现样品托从Load Lock到生长位置的传输。High Pressure Gas Cell可为样品提供O2、N2、Ar(或混合气体)气氛下,最高900℃的退火处理。除此之外,费密仪器也为此套系统量身定制了Vacuum Control Unit(图 3),可在任何突发情况下,如真空突变、停电、停气等情况下,为系统提供完整全面的保护。




图 2

低、中、高温蒸发源



图 3

定制化真空控制系统(Vacuum Control Unit)


费密仪器(FERMI INSTRUMENTS)将一如既往的加大研发投入,保持与顶尖高校研究机构的紧密合作,在保持现有产品质量的前提下,以满足科学研究需求为己任,不断推成出新,为打造具有民族印记的高端科研仪器品牌贡献自己的力量!


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