波士顿学院OxMBE系统完成安装验收

发布时间：2016-06-29 11:26:00 点击次数：976

2016年6月，由费密仪器（FERMI INSTRUMENTS）自主研发设计的氧化物分子束外延生长系统（OxMBE System）在美国Boston College完成安装及验收，并交付客户使用（图 1）。

图 1
OxMBE系统完成安装

波士顿学院（Boston College，简称BC）成立于1863年，是一所私立顶级研究型大学, 为波士顿五大名校（麻省理工学院、哈佛大学、塔夫茨大学、波士顿学院、布兰迪斯大学）之一。BC历史悠久，在美国享有声望，于2006年被列为全美25所“新常春藤”名校之一。BC在2016 U.S.NEWS全美大学综合排名为第30位；在美国KIPLINGER金融杂志2016最有价值私立大学排行榜上BC为全美第19位。

这是费密仪器（FERMI INSTRUMENTS）在美国顶尖高校销售的第一套复杂分子束外延设备,此套系统包括4个主要腔体:Growth Chamber、Load Lock、Transit、High Pressure Gas Cell。主腔体泵组由一套Edwards STP1003/EXT75DX级联分子泵和钛升华泵（TSP）组成，可轻松得到优于1E-10 mbar的本底真空，配有一个变温四轴样品架（工作温度：105K~1200K），低、中、高温蒸发源共4套（最高工作温度分别为：1000℃、1300℃、1500℃和1800℃）（图 2），INFICON膜厚测量仪，可由电脑编程控制的气动挡板系统，STAIB 15KeV RHEED及KSA400 RHEED光斑测量及分析系统，Plasma Atom Source。系统在完成安装及充分烘烤后，根据客户需求，进行了SrTiO3的生长演示，完成了Ti束流（0.5Å/s @1800℃）和Sr束流（0.3 Å/s @475℃）的标定测试，以及O2在E-10 mbar至E-6mbar的精确注入；使用客户提供的SrTiO3衬底，完成RHEED测试并成功观察到衍射图样。Load Lock使用Edwards EXT75DX 分子泵，30min内真空可进入E-7 mbar量级；充分烘烤后可得到优于1E-8 mbar的本底真空。配合费密仪器最新优化的传样装置，可在5min内实现样品托从Load Lock到生长位置的传输。High Pressure Gas Cell可为样品提供O2、N2、Ar（或混合气体）气氛下，最高900℃的退火处理。除此之外，费密仪器也为此套系统量身定制了Vacuum Control Unit（图 3），可在任何突发情况下，如真空突变、停电、停气等情况下，为系统提供完整全面的保护。

低、中、高温蒸发源

图 3

定制化真空控制系统（Vacuum Control Unit）

费密仪器（FERMI INSTRUMENTS）将一如既往的加大研发投入，保持与顶尖高校研究机构的紧密合作，在保持现有产品质量的前提下，以满足科学研究需求为己任，不断推成出新，为打造具有民族印记的高端科研仪器品牌贡献自己的力量！