案例新闻

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合肥同步辐射分子束外延生长系统完成安装调试

合肥同步辐射分子束外延生长系统完成安装调试

2015年4月16日,由费密仪器(FERMI INSTRUMENTS)自主设计开发的紧凑型分子束外延系统Cubic-200在合肥同... read more
微型ALD系统交付使用

微型ALD系统交付使用

2015年3月,费密仪器(FERMI INSTRUMENTS)自主研发的一套微型ALD系统在北京大学深圳研究院完成安装调试,各... read more
原位手套箱系统交付使用

原位手套箱系统交付使用

2015年2月,国内首套自主研发的原位手套箱系统在北京与ThermoFisher的XPS系统完成顺利对接,经过气体冲洗和... read more
中山大学小型分子束外延设备通过验收

中山大学小型分子束外延设备通过验收

2014年12月23日,由费密仪器(FERMI INSTRUMENTS)设计生产的小型分子束外延设备在中山大学东校区完成各... read more
清华大学臭氧系统交付验收

清华大学臭氧系统交付验收

2014年8月下旬,费密仪器(FERMI INSTRUMENTS)为清华大学薛其坤院士研究组交付一套高纯臭氧提纯及注入系统... read more
费密仪器与中国科学技术大学签订氧化物MBE合同

费密仪器与中国科学技术大学签订氧化物MBE合同

2013年12月25日,费密仪器(FERMI INSTRUMENTS)与中国科学技术大学(USTC)签订超高真空氧化物分子束外延系... read more

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