| ● 液氦制冷； | ● 多自由度：最高可达6自由度； | ● 温度范围：6K~400K； |
| ● 降温速度：RT至10K，<15分钟； | ● 兼容液氮：<65K 运行（带泵） | ● 高温样品台（可选电子束加热）； |
| R1轴向旋转 | 360°（-180°，+ 180°） |
| R2俯仰角旋转 | 60°（-15°，+ 45°） |
| R3面内角旋转 | 240°（-120°，+ 120°） |
| X / Y行程 | 25mm（±12.5mm） |
| Z行程 | 最大650mm |
| 4-轴 | 5A-轴 | 5F-轴 | 5.5-轴 | 6-轴 | |
| XY行程 | ±12.5mm | ±12.5mm | ±12.5mm | ±12.5mm | ±12.5mm |
| Z行程 | 最长700mm | 最长700mm | 最长700mm | 最长700mm | 最长700mm |
| XYZ驱动 | 手动/马达 | 手动/马达 | 手动/马达 | 手动/马达 | 手动/马达 |
| XYZ精度 | ＜0.01mm | ＜0.01mm | ＜0.01mm | ＜0.01mm | ＜0.01mm |
| R1范围 | 360°（-180°，+180°） | 360°（-180°，+180°） | 360°（-180°，+180°） | 360°（-180°，+180°） | 360°（-180°，+180°） |
| R1控制方式 | 手动/马达 | 手动/马达 | 手动/马达 | 手动/马达 | 手动/马达 |
| R1控制精度 | ＜0.1° | ＜0.1° | ＜0.1° | ＜0.1° | ＜0.1° |
| R1减速比 | 360:0.2 | 360:0.2 | 360:0.2 | 360:0.2 | 360:0.2 |
| R2（Flip)范围 | —— | —— | 60°（-15°，+45°） | 60°（-15°，+45°） | 60°（-15°，+45°） |
| R2驱动 | —— | —— | 马达 | 手动/马达 | 手动/马达 |
| R2精度 | —— | —— | ＜0.1° | ＜1° | ＜0.1° |
| R2减速比 | —— | —— | 360:9 | 360:6 | 360:3 |
| R3（Azi)范围 | —— | 240°（-120°，+120°） | —— | 240°（-120°，+120°） | 240°（-120°，+120°） |
| R3驱动 | —— | 手动/马达 | —— | 手动 | 手动/马达 |
| R3精度 | —— | ＜0.1° | —— | 手动＜1° | ＜0.1° |
| R3减速比 | —— | 360:5 | —— | 360:4.5 | 360:4 |
| 温度范围 | ＜4-325K | ＜5-325K | ＜5-325K | ＜6-325K | ＜6-325K |
| 最低温度 | ＜4K | ＜5K | ＜5K | ＜6K | ＜6K |
| 控制精度 | ＜0.01K | ＜0.01K | ＜0.01K | ＜0.01K | ＜0.01K |
| 降温时间 | ＜3 Hour (RT-6K) | ＜4 Hour (RT-6K) | ＜4 Hour (RT-6K) | ＜5 Hour (RT-6K) | ＜6 Hour (RT-6K) |
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