费勉仪器提供的ICP远程等离子体辅助ALD设备主要由等离子体模块,气路模块和反应腔组成,可提供定制ALD系统解决方案,满足客户不同样品尺寸和反应条件的需求。
● 使用模式:兼容连续沉积和驻留沉积模式 | ● 前驱体气路:多路输入结构,可依客户定制 | ● 温度准确性:±1℃ |
● 适用气体:O2,H2,N2,NH3可用于产生等离子体 | ● 反应腔温度均匀性:≥99% | ● 等离子体电源:300W 射频电源(含自动匹配器) |
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