EN 021-6525 3206

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定制化ALD样品台

费勉仪器提供的ICP远程等离子体辅助ALD设备主要由等离子体模块,气路模块和反应腔组成,可提供定制ALD系统解决方案,满足客户不同样品尺寸和反应条件的需求。

规格说明
  使用模式兼容连续沉积和驻留沉积模式  前驱体气路:多路输入结构,可依客户定制  温度准确性:±1℃
  适用气体:O2,H2,N2,NH3可用于产生等离子体  反应腔温度均匀性:≥99%  等离子体电源:300W 射频电源(含自动匹配器)




           

实物图

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标签: 超高真空MBE
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