EN 021-6525 3206

材料沉积表

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Ta

时间:2021.11.05来源 :点击次数:880次

材料 符号(原子序数)
熔点(℃)
密度(g/cm³)
Z-Ratio
饱和蒸气压温度(℃)
建议蒸发源*
建议坩埚*
注意事项
E-8Torr
E-6 Torr
E-4Torr
Ta(73)
2996 16.65 0.262 1960 2240
2590
E38EB/EBV



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