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上海科技大学超高真空TPD系统交付使用

2020年5月,由费勉仪器设计并搭建完成的超高真空程序升温脱附(TPD)系统在上海科技大学物质学院完成安装,并移交用户使用。


▲TPD系统现场照片


TPD测试将样品预先吸附特种气体分子,通过程序加热升温,观察吸附气体解吸变化过程进行分析,在能源催化材料的研究中起着非常重要的作用,系统包含超高真空系统,精确快速控温模块及质谱仪等关键模块。

费勉仪器这套超高真空TPD系统,主要由快速进样系统、样品制备系统、超高真空分析系统三部分组成。


01 快速进样系统


快速进样系统分别与大气环境和样品制备腔连接,实现样品的快速取放以及在快速进样腔与样品制备腔之间的传递;

02 样品制备系统

样品制备系统配备有费勉自主研发的高精度、高强度四轴高温样品架,可以将样品稳定加热至1500K,并搭配离子源、低能电子衍射仪、QCM等,实现表面处理、材料生长监测等多种功能;

03 超高真空分析系统

超高真空分析系统则配备了高精度、高强度的四轴变温样品架,工作温度区间广,可从90K到1500K,并且支持软件控制快速线性升降温,同时,该分析腔体还搭配有质谱仪、五路洗气系统等,可以进行精确分析。


▲TPD样品台


▲TPD测试线性控温曲线


相较常规TPD系统样品制备与分析设备的互相独立,此套超高真空TPD系统可以实现样品的快速切换,避免了样品输运环节中的不确定因素,有效提高了实验效率,得到更为精确的结果。

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