上海科技大学超高真空TPD系统交付使用

2020年5月，由费勉仪器设计并搭建完成的超高真空程序升温脱附（TPD）系统在上海科技大学物质学院完成安装，并移交用户使用。

▲TPD系统现场照片

TPD测试将样品预先吸附特种气体分子，通过程序加热升温，观察吸附气体解吸变化过程进行分析，在能源催化材料的研究中起着非常重要的作用，系统包含超高真空系统，精确快速控温模块及质谱仪等关键模块。

费勉仪器这套超高真空TPD系统，主要由快速进样系统、样品制备系统、超高真空分析系统三部分组成。

01 快速进样系统

样品制备系统配备有费勉自主研发的高精度、高强度四轴高温样品架，可以将样品稳定加热至1500K，并搭配离子源、低能电子衍射仪、QCM等，实现表面处理、材料生长监测等多种功能；

03 超高真空分析系统

超高真空分析系统则配备了高精度、高强度的四轴变温样品架，工作温度区间广，可从90K到1500K，并且支持软件控制快速线性升降温，同时，该分析腔体还搭配有质谱仪、五路洗气系统等，可以进行精确分析。

▲TPD样品台

▲TPD测试线性控温曲线

相较常规TPD系统样品制备与分析设备的互相独立，此套超高真空TPD系统可以实现样品的快速切换，避免了样品输运环节中的不确定因素，有效提高了实验效率，得到更为精确的结果。