材料放气率测试系统OGMS-100由真空抽气模块、小孔流导法测量模块、温度控制模块与质谱分析模块等四部分组成。该系统采用小孔流导法,通过在不同温度下对主腔室、测试腔以及对照腔的真空检测,可以计算出材料在不同温度下的放气率。系统采用完全对称的双测试腔室结构,可以排除腔体本底放气以及其他部件放气对测试结果的影响,使结果更具真实性。同时,系统在测试腔和对照腔配有质谱分析模块,可以动态、实时、精确的对放气成分进行检测和分析。
材料放气率测试系统OGMS-100 | |
双腔室结 | 测试腔用于装载待测材料,对照腔室为空腔,从而校正实验中本底放气和其它干扰因素 |
小孔流导设计 | 两个腔体之间通过小孔相连,通过对气体流动的检测,计算材料的放气速率 |
高精准性 | 检测下限可达5×10-10(Pa·m3)/(s·cm2) |
适用性广泛 | 可在不同温度(RT-1100℃)和压力条件下测量,满足各种材料的测试需求 |
快速响应性 | 从常压到极限真空12小时,大幅提升测试效率 |
系统组成 | 配置描述 |
UHV主腔室 | 标准立方腔体采用耐腐蚀不锈钢(SS316)制造,确保长期稳定性 |
配备高真空泵组,包括国际一线品牌分子泵和干泵,极限真空压力5E-9mbar | |
测试腔与对照腔 | 柱状腔体设计,极限真空平衡1E-8mbar |
温度范围RT-1100℃,控温精度±0.5℃ | |
质谱仪 | 可测量质荷比≥200Th,分压检测分别达到1×10-11Pa |
对材料释放的气体成分进行分子水平的定量和定性分析 | |
快速进样模块(LL1和LL2) | 快速取放样品,并可在12h内完成从常压到超高真空的转变 |
支持样品在腔室间的安全、便捷传输 | |
智能化控制系统 | 标准化自动控制软件,支持质谱仪、温控模块和真空系统的集成管理,一键启停,可单独控件 |
实时监控系统状态,支持数据导入、导出、查询及截取筛选,实时显示真空度、气体分子量与时间或温度关系,兼具2D图标及3D视图 | |
加热模式切换功能,手动/自动程序设定切换功能,可设定采样周期,可定时启动,气体分子量1-100可扫描可筛选,实时记录系统操作流程 | |
内置真空逻辑互锁、烘烤与加热互锁及腔体过热保护,控制界面防误触、确保设备和实验的安全性 |
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