产品概述 Product Overview ● 安装法兰：DN 350CF ● 衬底尺寸：3英寸 ● 加热器：SiC加热器 ● K型热偶测温 ● 旋转速度：0~30 RMP ● 温度范围：RT-1000℃ ● Z轴行程：50mm ● 定制长度 ● 应用领域：薄膜制备、脉冲激光沉积、磁控溅射 相关配件

产品亮点 Highlights ● 液氦制冷 ● 多自由度：最高可达6自由度 ● 温度范围：6K~400K ● 降温速度：RT至10K，<15分钟 ● 兼容液氮：<65K 运行（带泵） 相关配件 Options ● 样品停放台 ● 双样品低温样品台 ● 高温样品台（可选电子束加热） ●