产品概述 Product Overview 费勉仪器提供的4轴闭循环低温样品架可以实现样品位置以及姿态的精确控制，它主要由低温样品杆、温度控制系统、XYZ-R1位移台、马达控制系统四部分组成。整个样品架及位移台均使用无磁材料，可以在超高真空下使用。样品台可以在X、Y、Z方向大

产品概述 Product Overview 费勉仪器提供的5.5轴闭循环低温样品架可以实现样品位置以及姿态的精确控制，它主要由低温样品杆、温度控制系统、XYZ-R1位移台、马达控制系统四部分组成。整个样品架及位移台均使用无磁材料，可以在超高真空下使用。样品台可以在X、Y、Z方向

产品概述 Product Overview 费勉仪器提供的5A轴闭循环低温样品架可以实现样品位置以及姿态的精确控制，它主要由低温样品杆、温度控制系统、XYZ-R1位移台、马达控制系统四部分组成。整个样品架及位移台均使用无磁材料，可以在超高真空下使用。样品台可以在X、Y、Z方向大

产品概述 Product Overview 费勉仪器提供的5F轴闭循环低温样品架可以实现样品位置以及姿态的精确控制，它主要由低温样品杆、温度控制系统、XYZ-R1位移台、马达控制系统四部分组成。整个样品架及位移台均使用无磁材料，可以在超高真空下使用。样品台可以在X、Y、Z方向大

产品概述 Product Overview 费勉仪器提供的6轴闭循环低温样品架可以实现样品位置以及姿态的精确控制，它主要由低温样品杆、温度控制系统、XYZ-R1位移台、马达控制系统四部分组成。整个样品架及位移台均使用无磁材料，可以在超高真空下使用。样品台可以在X、Y、Z方向大

产品概述 Product Overview ● 安装法兰：DN 350CF ● 衬底尺寸：3英寸 ● 加热器：SiC加热器 ● K型热偶测温 ● 旋转速度：0~30 RMP ● 温度范围：RT-1000℃ ● Z轴行程：50mm ● 定制长度 ● 应用领域：薄膜制备、脉冲激光沉积、磁控溅射 相关配件