磷原子裂解源 您当前的位置: 首页 > 产品中心 > 薄膜制备 > 部件产品 > 蒸发源 > 磷原子裂解源

产品概述 Product Overview

磷原子裂解源是一种基于固体磷前驱体制备磷单原子的裂解蒸发源,该源采用双温区结构,即蒸发区和裂解区。并且采用特殊的隔热设计,最大限度的降低了两个温区间的热量干涉。此外,两个温区间采用石墨密封,能够有效降低蒸发区的原料蒸气泄露。同时,蒸发区和裂解区的专属水冷保证了材料生长过程中的背景压力始终在允许范围内。置于蒸发区的磷前驱体吸收加热丝热辐射散发的热量而实现蒸发。裂解区利用具有催化磷分子裂解功能的钽管作为加热管,并配备耐高温金属制备的多层隔热层以屏蔽热辐射损失的热量,最高可达2000℃。因此,蒸发区蒸出的磷分子蒸气进入裂解区后,会在在高温下快速的发生催化裂解反应,实现了单原子磷蒸气的高效获取。


规格说明 Specification

● 型号:E63PC

● 裂解区和蒸发区独立加热

● 蒸发区温度稳定性 ≤0.1℃ (取决于PID控制器)
● 裂解区最大允许电流:35 A(阻值~0.5 Ω)
● 裂解区最大温度:2000 ℃
● 裂解区在最高温度时,蒸发区温度不超过:300 ℃

● 漏率好于5x10-10Pa·m3/s

● 挡板:可选Ta挡片(手动/气动)

● 内置水冷模块


法兰尺寸 坩埚尺寸 分区 工作温度 最大除气温度 热电偶 温度稳定性
NW63CF(O.D. 4.50”)
10 cc
顶部裂解区 ≤2000℃ 2000℃ - ±0.1℃
底部蒸发区 100~1000℃ 1100℃ K










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标签: evaporators