标准蒸发源坩埚装料操作

在MBE系统中蒸发源是一个关键部件，在薄膜制备过程中经常涉及到蒸发源的坩埚装料操作。在本期公众号中，咱们就来介绍下标准蒸发源坩埚装料操作步骤。

第一步：准备以下材料以及工具；

材料：

①蒸发材料   ②标准蒸发源

工具：

①镊子（洁净）  ②无尘服   ③无尘手套   ④口罩  ⑤真空用铝箔

⑥无水酒精   ⑦超净布   ⑧蒸发源支撑架

第二步：安全检查，在操作蒸发源之前一定要确认之前的蒸发源生长过何种材料。有一部分材料属于有毒性的例如Te，或者属于易燃易爆物品的例如碱金属，一定要按照MSDS的规范操作采用特殊工艺，以下仅针对无毒无害材料的装料做说明。

第三步：确认安全后，穿戴无尘服、无尘手套及口罩，先把磁耦合旋转驱动上的锁紧螺丝拧松，再将磁耦合旋转驱动旋转至90度并把锁紧螺丝锁紧（即挡板处于打开位置）。

第四步：对于使用过的蒸发源，在挡板或者坩埚口的位置会有材料的残留，在拆解前一定要注意清洁这些残留的材料，避免掉入坩埚或者加热区域引起二次污染。

第五步：使用超净布蘸取无水酒精擦拭镊子，在横放的情况下使用镊子缓慢取出坩埚顶部的坩埚压片（避免残留材料跌落），将坩埚压片暂放在洁净的铝箔纸上。

第六步：小心取出坩埚，请注意某些陶瓷坩埚例如PBN由于壁厚和材质的原因非常脆弱，务必轻拿轻放。

第七步：目视检查坩埚，确认坩埚没有异常，检查坩埚内容物，一般不建议新旧材料混用，以及不同种材料混用。如有必要需要清空坩埚并使用超声波清洗或者更换新的坩埚。

第八步: 握住坩埚倾斜30-45度，使用洁净的镊子将材料沿坩埚壁缓慢滑入，过程中需要避免大颗粒材料猛烈撞击坩埚底部造成坩埚损坏。建议装料量最大不超过坩埚容积的三分之一。需要蒸发其他材料时需更换新坩埚以及坩埚压片避免交叉污染。

第九步：将坩埚缓慢放入蒸发源，并用坩埚压片压住。坩埚压片随着多次使用（高低温循环），会发生弹性减弱的情况，所以如果发现固定效果变差，请及时更换。坩埚压片能保持坩埚和加热区域的相对位置不变（特别是斜向安装），对保持束流的稳定和可重复性有很大作用。

第十步：确保坩埚安装就位稳定后，先把磁耦合旋转驱动上的锁紧螺丝拧松，再将磁耦合旋转驱动旋转至0度并把锁紧螺丝锁紧（即挡板处于关闭位置）。

第十一步：将蒸发源竖直放置于专用支撑架上（待装入腔体），避免坩埚材料滑出。对于活泼敏感材料，建议尽早进入真空环境，以免材料发生氧化或吸水变性。安装前检查蒸发源电极间的电阻以及接地电阻，对比出厂数据，确保各项参数正常。

第十二步：接触材料的坩埚，铝箔，或者工具等，都需要及时收纳更换/清洗，分类摆放，避免交叉污染。

安装时注意事项

1.装料前请确认材料和蒸发源的种类相匹配，例如温区，Cold/Hot Lip，不合适的匹配将会影响生长过程甚至可能造成设备损坏；

2.装料前请确认材料和坩埚的种类相匹配，部分材料会和特定坩埚发生反应或者共融，不合理的匹配将会影响生长甚至造成设备损坏；

3.有任何疑问请咨询我司技术部门，邮箱：surface-science@fermi.com