EN 021-6525 3206

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液化型高纯臭氧系统

● 全金属密封臭氧液化池
● 无硅胶吸附剂
● 闭循环制冷机自动控温
● 提纯速度快,准备时间只需30分钟;提纯1小时,能产出约4标升高纯臭氧气体,可满足大部分用户十小时以上的生长需求
● 设计紧凑,尺寸 400*700*1200mm(高)
● 操作简便,即起即停
● 高纯臭氧应用领域:化学气相沉积(CVD),原子层沉积(ALD),氧化物生长,表面处理,粒子清洁,光刻胶去除,灰化等。

测试曲线图
——————   实测饱和蒸汽压数据   ————————————    臭氧输出束流的稳定性和持续性   ——————


——————   注入腔气压与液化池温度关系   ——————

标签: 超高真空MBE
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