● 全金属密封臭氧液化池● 无硅胶吸附剂● 闭循环制冷机自动控温● 提纯速度快,准备时间只需30分钟;提纯1小时,能产出约4标升高纯臭氧气体,可满足大部分用户十小时以上的生长需求● 设计紧凑,尺寸 400*700*1200mm(高)● 操作简便,即起即停● 高纯臭氧应用领域:化学气相沉积(CVD),原子层沉积(ALD),氧化物生长,表面处理,粒子清洁,光刻胶去除,灰化等。
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