高精度全尺寸三维平移台 您当前的位置: 首页 > 产品中心 > 真空技术 > 部件产品 > 线性驱动 > 高精度全尺寸三维平移台

产品概述 Product Overview

高精度全尺寸三维平移台可以使焊接波纹管在X, Y,Z三个方向上运动。采用直线导轨结构和高精度滚珠丝杆,结构强壮紧凑。配合伺服电机和光栅尺,可达到亚微米级精度。可与高精度DPRF搭配使用。该产品可以作为模块化产品。Z方向可提供定制。
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规格说明 Specification

● 工作气压:10-11 mbar~1 bar
● 局部波纹管部分烘烤120℃
● 采用SS316材料焊接的波纹管
● 通径:102mm
● 伺服电机驱动
● 采用直线导轨结构和高精度滚珠丝杆
● 光栅尺闭环反馈
● XYZ轴读取精度:0.2μm
● 上端安装法兰:CF法兰,螺纹孔
● 下端安装法兰:CF法兰,通孔



A法兰直径 B法兰直径 XY行程 Z行程
毫米 英寸 毫米 英寸 毫米
152 6 203 8 ±12.5 可达650


产品尺寸 Dimension Drawing


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标签: 线性驱动