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产品概述 Product Overview

全尺寸三维平移台是一款精密平移台,提供X,Y,Z三个方向的自由度,具有很高的可操作性。X/Y方向采用光轴和微分头组合结构,Z方向采用光轴和滚珠丝杆的组合结构。该产品可以作为模块化产品。Z方向可提供定制。
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规格说明 Specification

● 工作气压:10-11 mbar~1 bar
● 烘烤温度:120℃
● 采用SS316材料焊接的波纹管
● 通径:102mm
● 上端安装法兰:CF法兰,通孔
● 下端安装法兰:CF法兰,螺纹孔
● X/Y驱动:步进电机(精度2.5μm)+微分头(精度5μm)
● Z驱动:步进电机(精度10μm)


A法兰直径 B法兰直径 XY行程 Z行程
毫米 英寸 毫米 英寸 毫米
152 6 203 8 ±12.5 可达650


产品尺寸 Dimension Drawing


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标签: 线性驱动