紧凑型三维平移台 您当前的位置: 首页 > 产品中心 > 真空技术 > 部件产品 > 线性驱动 > 紧凑型三维平移台

产品概述 Product Overview

紧凑型三维平移台结构紧凑,可以在超高真空环境中提供精确的运动和样品位置控制。X/Y方向采用微分头控制,Z方向采用丝杆,使其运行更加平稳。焊接不锈钢波纹管,允许移动法兰在有限范围内移动。可以在任何方向上安装。


规格说明 Specification

● 工作气压:10-11 mbar~1 bar
● 驱动方式:手动
● 最高烘烤温度:150℃
● 采用SS316材料焊接的波纹管
● 微分头精度:10μm
● Z轴刻度以1mm递增
● 上端安装法兰:CF35,螺纹孔

● 下端安装法兰:CF63,通孔


法兰尺寸 XY行程 Z行程 A压缩 A拉伸 重量(Kg) 型号
毫米 英寸 毫米
70 2.75 ±12.5 75 165 240 10.2 SXY63Z75
100 165 265 10.5 SXY63Z100
150 165 315 10.9 SXY63Z150


产品尺寸 Dimension Drawing


视频 Video


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标签: 线性驱动