MBE 300 主要采用氩弧焊加工的圆柱形316不锈钢腔体，腔体顶部法兰尺寸为CF250，最多可安装9个束源炉，能根据用户需求安装多坩埚的磁偏转电子束，适用于小尺寸（匹配旗形样品托）样品生长。
| ● 一套成熟、稳定、性价比高的系统 | ● 模块化设计，炉源、泵组、其他部件灵活搭配，适合不同需求 | ● 既能作为独立的系统，也可与其他超高真空系统互联 |
| MBE 300 | 模块描述 | 配置参数 | |
| 生长室 | 腔体 | 腔体材料 | SS316 |
| 腔体尺寸 | 200mm I.D | ||
| 烘烤温度 | Max.200℃ | ||
| 本底真空 | < 5×10-10 mbar | ||
| 抽气系统 | 450L/s分子泵+10m3/h机械泵 | ||
| 真空测量系统 | 离子规+Pirani规 | ||
| 液氮冷屏 | 选配 | ||
| 离子泵 | 选配 | ||
| 样品架 | 样品尺寸 | Flag-type样品托 | |
| 衬底加热方式 | 辐射加热 | ||
| 衬底加热器温度 | 室温-1200K | ||
| 电子束加热 | 选配 | ||
| 直流加热 | 选配 | ||
| 液氮制冷模块 | 选配 | ||
| 部件 | 蒸发源配置 | 4xDN40CF, 4xDN63CF, 1xDN100CF | |
| 独立的蒸发源挡板 | 气动驱动 | ||
| QCM | 标配 | ||
| RHEED | 15KeV-30KeV | ||
| Ion Source | 选配 | ||
| RGA | 选配 | ||
快速进样室 | 腔体 | 腔体材料 | SS316 |
| 烘烤温度 | Max.200℃ | ||
| 本底真空 | <5×10-8 mbar | ||
| 抽气系统 | 80L/s分子泵+10m3/h机械泵 | ||
| 真空测量系统 | 全量程规 | ||
| 部件 | 样品停放台 | 6或12工位 | |
| 系统集成及控制 | GUIDE软件 | 标配 | |
| 烘烤系统 | 标配 | ||
| 系统支架 | 标配 | ||
| 真空照明系统 | 选配 | ||
| 等离子清洗 | 选配 | ||
| CCD相机 | 选配 | ||
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