高亮度单色聚焦紫外光源(BL1100S) 您当前的位置: 首页 > 产品中心 > 等离子技术 > 紫外光源 > 高亮度单色聚焦紫外光源(BL1100S)

产品概述 Product Overview

费勉BL1100s是一款经过特殊设计的高亮度多气体混合的真空紫外光源,包含差分腔体,一个单色腔体,一个将聚焦毛细管与差分腔体隔离的闸板阀,能够使多种工作气体(He, Xe)满足小光斑,气压增量小的要求。


规格说明 Specification

● 可伸缩调节机制
● 75mm行程线性驱动
● 角度调节机制:倾角范围:±3°
● 固态射频电源,射频线缆
● 强制风冷和水冷
● 兼容超高真空,全金属密封


测试报告 Test Report


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标签: 紫外光源