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高亮度多气体真空紫外光源(BL-1000S)
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产品概述 Product Overview
费勉BL1200S 是一款经过特殊设计的高亮度多气体混合的真空紫外光源，包含差分腔体，一个单色腔体，一个多滤片变换装置，一个将聚焦毛细管与差分腔体隔离的闸板阀，能够使用多种工作气体（He, Ne, Ar, Kr, Xe...），满足小光斑，气压增量小的要求。
规格说明 Specification
● 可伸缩调节机制
● 75mm行程线性驱动
● 角度调节机制：倾角范围：±3°
● 固态射频电源，射频线缆
● 强制风冷和水冷
● 兼容超高真空，全金属密封
气体
能量 (eV)
波长(nm)
电流 (nA)
光子数 Photons/s
He
21.2
58.5
33.8
1.56e12
Hell
40.83
30.37
1.0
1.04e11
Ne
16.85
73.59
11
4.43e11
Ar
11.83
104.82
7.5
4.96e11
Kr
10.03
123.58
2.4
7.5e11
Xe
8.43
146.96
1.5
9.3e13
测试报告 Test Report
产品尺寸 Dimension Drawing
视频 Video
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