高亮度单色聚焦紫外光源(BL1200S) 您当前的位置: 首页 > 产品中心 > 等离子技术 > 紫外光源 > 高亮度单色聚焦紫外光源(BL1200S)

产品概述 Product Overview

费勉BL1200s是一款经过特殊设计的高亮度多气体混合的真空紫外光源,包含差分腔体,一个单色腔体,多滤片变换装置,一个将聚焦毛细管与差分腔体隔离的闸板阀,能够使多种工作气体(He, Ne, Ar, Kr, Xe...)满足小光斑,气压增量小的要求。


规格说明 Specification

● 可伸缩调节机制

● 75mm行程线性驱动

● 角度调节机制:倾角范围:±3°

● 固态射频电源,射频线缆

● 强制风冷和水冷

● 兼容超高真空,全金属密封


气体 能量 (eV) 波长(nm)
电流 (nA)
光子数 Photons/s
He 21.2 58.5 33.8 1.56e12
Ne 16.85 73.59 11 4.43e11
Ar 11.83 104.82 7.5 4.96e11
Kr 10.03 123.58 2.4 7.5e11
Xe 8.43 146.96 1.5 9.3e13


测试报告 Test Report


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标签: 紫外光源