MBE高低温样品架-5轴 您当前的位置: 首页 > 产品中心 > 薄膜制备 > 部件产品 > MBE样品架 > MBE高低温样品架-5轴

产品概述 Product Overview

5轴MBE高低温样品架是可提供样品在X、Y、Z三个方向的平动和绕Z轴的旋转角R1(Polar)、面内旋转角R3(Azimuthal)。采用液氮制冷,样品台最低温可达120K。独特的灯丝加热结构,保证样品托温度可达1000K。其中,X、Y、Z、R1通过XYZ-R1真空位移台实现, R3通过样品架头的齿轮传动机构实现。整个样品操纵系统主要包括样品杆、温度控制系统、XYZ-R1位移台三部分组成。整个样品架及位移台均使用无磁材料,可以在超高真空下使用。 


产品亮点 Highlights

● 样品台最低温:120K

● 样品托最高温:1000K (辐射加热), 1200K(电子束加热);

● 多自由度: X、Y、Z、R1四个自由度运动;

● 精准控温:PID控温精度可达±0.1K;

● 兼容多种功能模块;


技术规格 Mechanical Specifications

R1轴向旋转
±179°
X/Y 行程
25mm(±12.5mm)
Z 行程
最大 300 mm
面内旋转 360°


相关配件 Options

● E-beam加热;
● 高低温热隔离模块;
● 红外测温组件;



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标签: MBE样品架