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2轴高通量MASK样品架

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技术规格
● 加热器材料：SIC；● 样品托最高温：1200K；● 两自由度：Z和R1；● 精准控温：PID控温精度可达±0.1K；
● 兼容掩膜板（MASK）；● 重复定位精度：2μm；● 旋转角度: 0°，90°，180°，270°

R1轴向旋转360°
Z 行程75mm
标签： 超高真空MBE
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