5轴MBE高温样品架可提供样品在X、Y、Z三个方向的平动和绕Z轴的旋转角R1(Polar)、面内旋转角R3（Azimuthal）。其中，X、Y、Z、R1通过XYZ-R1真空位移台实现， R3通过样品架头的齿轮传动机构实现。独特的灯丝加热结构，保证样品托温度可达1200K。整个样品操纵系统主要包括样品杆、温度控制系统、XYZ-R1位移台三部分组成。整个样品架及位移台均使用无磁材料，可以在超高真空下使用。
● 样品托最高温：1200K （辐射加热）， 1500K（电子束加热）；
● 多自由度： X、Y、Z、R1、R3五个自由度运动；
● 精准控温：PID控温精度可达±0.1K；
● 兼容多种功能模块；
| R1轴向旋转 | ±179° |
| X/Y 行程 | ±12.5mm |
| Z 行程 | 最大 300 mm |
| 面内旋转 | 360° |
| ● 液氮冷却模块 | ● E-beam加热 |
| ● 高低温热隔离模块 | ● 红外测温组件 |
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