紫外光源

高亮度多气体真空紫外光源
2020-03-16

产品概述 Product Overview FERMI BL-1000s真空紫外光源是费勉仪器基于革命性的局域场等离子机制，结合固态射频源技术，开发出的一款超高效真空紫外光源。该款真空紫外光源，具有无电极、低电压、长寿命的特点，能够高效激励多种气体组分(He, Ne, Ar, Kr, Xe...) ，相
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高亮度单色聚焦真空紫外光源（BL1010S）
2020-04-17

产品概述 Product Overview FERMI BL-1010s聚焦型真空紫外光源经过特殊的结构设计，使用三级差分腔体，通过超高真空阀隔离聚焦毛细管与差分腔，能够使多种工作气体（He, Ne, Ar, Kr, Xe...）满足小光斑，气压增量小的要求。规格说明 Specification ● 总通量：>
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高亮度单色聚焦真空紫外光源（BL1100S）
2020-04-17

产品概述 Product Overview 费勉BL1100s是一款经过特殊设计的高亮度多气体混合的真空紫外光源，包含差分腔体，一个单色腔体，一个将聚焦毛细管与差分腔体隔离的闸板阀，能够使用多种工作气体（He, Xe），满足小光斑，气压增量小的要求。规格说明 Specification ●
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高亮度单色聚焦真空紫外光源（BL1200S）
2020-04-17

产品概述 Product Overview 费勉BL1200s是一款经过特殊设计的高亮度多气体混合的真空紫外光源，包含差分腔体，一个单色腔体，一个多滤片变换装置，一个将聚焦毛细管与差分腔体隔离的闸板阀，能够使用多种工作气体（He, Ne, Ar, Kr, Xe...），满足小光斑，气压增量小的
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远程低温等离子处理机
2021-02-03

产品概述 Product Overview 采用自主研发的新型远程低温等离子激励技术，实现等离子发生室和处理室分离，解决了传统电离技术的多种困扰。该款产品属于紧凑型的桌面式等离子处理机，容积为27L，适用于处理小、中型部件及物品，根据不同的需求和工艺要求，可以实现物品表
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高效射频等离子体裂解源
2020-11-12

产品概述 Product Overview 费勉仪器的高效射频等离子体裂解源，采用独创的射频聚焦激励技术，4种高效固态射频源作为驱动电源(13.56MHz/433MHz/915MHz/2450MHz)，无需复杂的射频匹配网络，能够有效提高气体的离化效率。在等离子体引出口设置小孔结构，通过调节小孔结构
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