费勉仪器科技有限公司自主设计的BL-1030S 系列真空紫外光源,使用三级差分腔体,通过超高真空阀隔离聚焦毛细管与差分腔,能够使用Ar,Kr,Xe,N2,H2等多种工作气体,覆盖了30 nm-150 nm(41 eV -8.3 eV)的多个光子能量,光子通量达到1013 photons/s
● 宽光谱:8.43eV ~ 40.8eV(30.3nm-147.6nm) | ● 工作气体:He,Ne,Ar,Kr,Xe,... | ● 电源:由24V / 200 W电源驱动的紧凑型固态RF源 |
● 兼容UHV,全金属密封 | ● 使用寿命长:> 20000小时 |
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