EN 021-6525 3206

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闭循环低温样品架-5.5轴

费勉仪器提供的5.5轴闭循环低温样品架可以实现样品位置以及姿态的精确控制,它主要由低温样品杆、温度控制系统、XYZ-R1位移台、马达控制系统四部分组成。整个样品架及位移台均使用无磁材料,可以在超高真空下使用。样品台可以在X、Y、Z方向大范围移动,并可实现绕Z轴的旋转运动(R1),样品架头部增加了样品台俯仰角旋转(R2)以及面内角旋转(R3)功能. 马达控制软件可以与ScientaOmicron的分析器联动,实现automapping功能。

规格说明
● 运行成本低:采用风(水)冷式GM制冷机提供冷量;● 多自由度:X、Y、Z、R1 、R2均可实现马达控制,R3用真空机械手操作;● 操作便捷:即插即用,可长时间稳定运行;
● 超低温:样品台最低稳定可达5.5K;● 精准控温:PID控温精度可达10mK;● 快速变温:从室温至5.5K,小于4小时;

R1轴向旋转360°(-180°,+ 180°)
R2俯仰角旋转60°(-15°,+ 45°)
R3面内角旋转240°(-120°,+ 120°)
X / Y行程25mm(±12.5mm)
Z行程最大650mm

4-轴5A-轴5F-轴5.5-轴6-轴
XY行程±12.5mm±12.5mm±12.5mm±12.5mm±12.5mm
Z行程最长700mm最长700mm最长700mm最长700mm最长700mm
XYZ驱动手动/马达手动/马达手动/马达手动/马达手动/马达
XYZ精度<0.01mm<0.01mm<0.01mm<0.01mm<0.01mm
R1范围360°(-180°,+180°)360°(-180°,+180°)360°(-180°,+180°)360°(-180°,+180°)360°(-180°,+180°)
R1控制方式手动/马达手动/马达手动/马达手动/马达手动/马达
R1控制精度<0.1°<0.1°<0.1°<0.1°<0.1°
R1减速比360:0.2360:0.2360:0.2360:0.2360:0.2
R2(Flip)范围————60°(-15°,+45°)60°(-15°,+45°)60°(-15°,+45°)
R2驱动————马达手动/马达手动/马达
R2精度————<0.1°<1°<0.1°
R2减速比————360:9360:6360:3
R3(Azi)范围——240°(-120°,+120°)——240°(-120°,+120°)240°(-120°,+120°)
R3驱动——手动/马达——手动手动/马达
R3精度——<0.1°——手动<1°<0.1°
R3减速比——360:5——360:4.5360:4
温度范围<4-325K<5-325K<5-325K<6-325K<6-325K
最低温度<4K<5K<5K<6K<6K
控制精度<0.01K<0.01K<0.01K<0.01K<0.01K
降温时间<3 Hour (RT-6K)<4 Hour (RT-6K)<4 Hour (RT-6K)<5 Hour (RT-6K)<6 Hour (RT-6K)


降温曲线

标签: 超高真空MBE
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