元 素 周 期 表






















低温蒸发源



近常温源

碱金属源











中温蒸发源



电子束源

气体裂解源







IA



冷口或热口



射频等离子源

磷裂解源






VIIIA

(H)

IIA


高温蒸发源



碳源

双温裂解源

IIIA
IVA
VA
VIA
VIIA
(He)


(Li)


(Be)










(B)
(C)
(N)
(O)
(F)
(Ne)


(Na)


(Mg)
IIIB
IVB
VB
VIB
VIIB
VIIIB
IB
IIB
(Al)
(Si)
(P)
(S)
(Cl)
(Ar)


(K)


(Ca)
(Sc)
(Ti)
(V)
(Cr)
(Mn)
(Fe)
(Co)
(Ni)
(Cu)
(Zn)
(Ga)
(Ge)
(As)
(Se)
(Br)
(Kr)


(Rb)


(Sr)
(Y)
(Zr)
(Nb)
(Mo)
(Tc)
(Ru)
(Rh)
(Pd)
(Ag)
(Cd)
(In)
(Sn)
(Sb)
(Te)
(I)
(Xe)


(Cs)


(Ba)
镧系
(Hf)
(Ta)
(W)
(Re)
(Os)
(Ir)
(Pt)
(Au)
(Hg)
(Tl)
(Pb)
(Bi)
(Po)
(At)
(Rn)





镧系
(La)
(Ce)
(Pr)
(Nd)
(Pm)
(Sm)
(Eu)
(Gd)
(Tb)
(Dy)
(Ho)
(Er)
(Tm)
(Yb)
(Lu)