EN 021-6525 3206

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大面积等离子体源

PS大面积等离子体源,适配多种气体,适合用于大面积基片的刻蚀、表面清理、表面活化、表面改性、辅助沉积等。


规格说明
型号PS100PS200
安装法兰CF200CF250
工作气压

10-4– 10-1 mbar

10-4– 10-1 mbar

最大功率1000W3000W
等离子体密度

1017 m-3

1017 m-3

处理样品尺寸≤4inch≤8inch


标签: 超高真空MBE
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