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桌面式远程低温等离子体清洗机

RPTE-DT桌面式远程低温等离子体清洗机采用自主研发的新型远程低温等离子体激励技术,实现等离子体发生室和处理室分离,解决了传统电离技术的多种困扰,适用于处理小、中型部件及物品,根据不同的需求和工艺要求,可以实现物品表面清洗、表面改性、表面活化等功能。


产品特点
  激励效率高,整体温度低  实现纳米级别清洁,对样品和器件基本无损伤  等离子体稳定、分布均匀
  自动化控制,简单易上手  兼容空气、氧气等


规格参数
外形尺寸700mm(L)×550mm(W)×625mm(H)
处理容积27L

工作气压

10-2 – 10-1 mbar

系统控制PLC+触摸屏控制


标签: 超高真空MBE
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