该装置可以在超高真空环境中对二维材料进行原位剥离、堆垛，由超高真空腔体、四轴样品停放台、堆垛台、解离台(含压力传感器)、反套显微镜、RHEED等部件组成。
| 反套显微镜 | |||
| 特殊内凹对接法兰设计,可使镜头更好对焦在样品表面 | 变倍机制灵活，手动或电动变倍可选 | 开放式的成像系统，可自由集成自动聚焦、DIC、偏光、光谱分析等功能模块，构建全自动化机器视觉检测系统 | |
| 超高真空腔体及支架 | |||
| 超高真空标准腔体，SS316不锈钢材质 | 符合超高真空标准的法兰口 | 标准样品托,可集成在样品架上 | 固定支撑结构在设备定位后将系统支撑不易晃动，更加牢 |
| RHEED(反射高能电子衍射仪) | |||
| 由高能电子枪和荧光屏(装在对面视窗上)组成 | 反映样品表面的结构信息 | 可用于研究晶体生长、吸附、表面缺陷等方面 | |
| 四轴样品停放台 | |||
| 由样品停放台、二维平移台、线性驱动、紧凑型差分旋转组成 | 可同时停放13个旗状样品托 | 顶部的样品停放位可用显微镜观测样品 | 可实现X、Y、Z、θ方向移动 |
| 四轴高低温样品架 | |||
| 样品台温度范围:110K-600K | 可实现X、Y、Z、θ方向移动 | ||
| RHEED屏显微镜 | |||
| 由显微镜、显微镜支架、三棱镜、遮光罩组成 | 90°反射光路 | 结构紧凑 | |
| 机械手 | |||
| 可实现各停放台之间样品托的转移 | |||
| 解离台 | |||
| 由解离台、紧凑型差分旋转、三角调平机构组成 | 通过三角调平机构来实现解离台上单晶材料的水平度控制 | 与顶部的堆垛台用铜辫子连接导冷 | 解离台内置压力传感器 |
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