该系统由快速进样腔、解理腔、低温样品架、解理样品架及光学显微镜组成。
提供丰富的停放工位和100K-470K的变温范围,实现对薄层材料的解理和转移。
● 可实现超高真空环境解理,真空度优于5x10-10mbar | ● 配备液氮制冷,最低温小于120K | ● 操作便捷,借助机械手可实现二维材料解理与转移 |
● 解理面原子层级的平整度,解理得到少层材料 | ● 标准的Flag-type样品托,兼容性好,可以无缝互联ARPES,STM,XPS等表面分析设备 |
光学显微镜 | |||
进口光学镜头 | 进口CCD相机 | 电动变焦 | 同轴光照明 |
机械手 | |||
便捷传样与解理 | |||
解理腔 | |||
超高真空腔体55316不锈钢材质 | 符合超高真空标准的法兰口 | 高强座铝合金支架,大滚轮,便于移动 | 加热处理与温度控制 |
解理样品架 | 电动升降 | X、Y、Z、R多轴压电位移台 | |
低温样品架 | |||
手动升降、旋转 | 温度范围:100K-300K | 同时停放至多42个样品托 |
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