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中科院苏州纳米所超高真空PECVD系统交付使用

文章来源:费勉仪器

2020年5月,由费勉仪器设计并搭建完成的超高真空PECVD系统在苏州纳米所完成安装,并移交用户使用。


▲与超高真空系统互联的PECVD系统


传统的CVD系统在材料生长领域已取得了很好的成果,特别是石墨烯等二维材料的生长,CVD有着其他手段无法比拟的优势。传统CVD系统通常基于管式炉设计,充分利用了管式炉耐腐蚀、易清洁、恒温区长和控温简便的优势,但是常规CVD系统都属于单体设备,生长完成的材料需要经过空气传递才能实现进一步的材料改性或者表征,过程中会引入很多不确定因素,空气中的氧化和污染直接对材料的本征性质造成了干扰。



▲正在加热中的CVD装置


这套由费勉仪器完成的超高真空系统则利用多项自有专利技术,将CVD和超高真空系统无缝对接,既能在石英管式炉内完成CVD乃至PECVD生长,又能直接将产成的晶体样品送入STM等分析装置进行测量,大幅提升样品品质,有效地提高了科研能力。



▲石英管样品传递方式(专利号:ZL 2014 2 0374752.X)


标签: 超高真空PECVD