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Cluster自动衬底传样机械臂
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产品概述 Product Overview
移动式超高真空手提箱是维持超高真空环境下的便携样品转移装置，出厂前已经过检漏以及烘烤，可直接使用。
其采用简凑设计，减少自重的同时保留了所有功能可通过NW40CF闸板阀与其他系统对接，利用传样机构传递样品。全程可通过侧面两个UHV兼容视窗观察内部。
安装复合真空泵后，移动式超高真空手提箱可在一段时间内维持超高真空环境，用于敏感样品的运输。充分烘烤放气后极限真空好于5×10-10 mbar。
可搭配特制的航空运输箱，便携式移动电源和车载转换器，便于移动运输。
规格说明 Specification
● 腔体材料：SS 316
● 极限真空：5×10-10 mbar（标准配置下，经过充分烘烤）
● 搭配泵组：SAES NEXTorr® Z 200
● 2个DN38CF 超高真空视窗
● 样品托样式：旗型样品托
● 样品停放台：三层标准样品停放台
产品尺寸 Dimension Drawing
*以上产品为PUS-200
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