| 腔体名称 | 结构示意图 | 高度（mm) | 直径（mm) | 角度公差（°） | 线性偏差（mm) | 极限真空（mbar) | 粗糙度(μm) |
| 圆筒形真空腔体 |
| ＜1500 | 42-2200 | ±0.5 | ±0.5 | 2×10-10 | ＜0.5 |
| 钟罩形真空腔体 |
| ＜1500 | 150-2200 | ±0.5 | ±1 | 2×10-10 | ＜0.5 |
| 球形真空腔体 |
| / | 200-1200 | ±0.5 | ±0.5 | 5×10-10 | ＜0.5 |
| 蝶形真空腔体 |
| ＜1500 | 200-2200 | ±0.5 | ±1 | 5×10-10 | ＜0.5 |
| 长方形真空腔体 |
| / | / | ±0.5 | ±2 | 2×10-10 | ＜0.5 |
| 椭球形真空腔体 |
| ＜1500 | 70-2200 | ±0.5 | ±1 | 2×10-10 | ＜0.5 |
| MBE300 |
| / | 250 | ±0.5 | ±1 | 5×10-10 | ＜0.5 |
| MBE800 |
| / | 650 | ±0.5 | ±1 | 2×10-10 | ＜0.5 |
| 直线段真空腔体 |
| ＜1000 | ≥152 | ±0.5 | ±2 | 2×10-10 | ＜0.5 |
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