| ● 单差分实现超高真空性能 | ● 适用于10-11 mbar超高真空环境 | ● 烘烤温度：150°C（移除电机及其组件） |
| ● 旋转范围：360°（可连续旋转） | ● 手动/电机驱动 | ● 上端安装法兰：CF法兰，螺纹孔 |
| ● 下端安装法兰：CF法兰，通孔 |
| 品名 | 紧凑型差分旋转驱动（CDPRF） | ||||||
| 安装法兰 | CF35 | CF63 | CF100 | ||||
| 法兰 尺寸 | 毫米 | 70 | 114 | 152 | |||
| 英寸 | 2.75 | 4.5 | 6.0 | ||||
| 旋转角度 | 360° | 360° | 360° | ||||
| 驱动 | 手动 | 步进电机 | 手动 | 步进电机 | 手动 | 步进电机 | |
| A (mm) | 147 | 210 | 180 | 239 | 218 | 281 | |
| B (mm) | 115 | 122 | 146 | 153 | 182 | 190 | |
| C (mm) | 81 | 81 | 92 | 92 | 96 | 96 | |
| D (mm) | 35 | 35 | 63 | 63 | 103 | 103 | |
| 分辨率 | 1° | 0.001° | 1° | 0.001° | 1° | 0.001° | |
| 重量 (kg) | 1.7 | 2.2 | 4.8 | 5.3 | 7 | 7.5 | |
| 型号 | CDPRF35M | CDPRF35A | CDPRF63M | CDPRF63A | CDPRF100M | CDPRF100A | |
| XY驱动 | 3040400001 | 3040400002 | 3040400003 | 3040400004 | 3040400005 | 3040400006 | |
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