| ● 适用于10-11 mbar超高真空环境 | ● 一级差分实现超高真空性能 | ● 烘烤温度：120°C |
| ● 旋转范围：±175° | ● 采用伺服马达驱动 | ● 上端安装法兰：CF法兰，螺纹孔 |
| ● 下端安装法兰：CF法兰，螺纹孔 | ● 闭环控制 | ● 光栅尺分辨率：≤0.0001° |
| ● 可承受大负载：>2000kg |
| 品名 | 高精度差分旋转驱动（HDPRF） | |
| 安装法兰 | CF150 | |
| 法兰 尺寸 | 毫米 | 203 |
| 英寸 | 8.0 | |
| 旋转角度 | ±175° | |
| A (mm) | 338 | |
| B (mm) | 288 | |
| C (mm) | 104 | |
| D (mm) | 102 | |
| E (mm) | 90 | |
| 驱动 | 伺服电机 | |
| 重量 (kg) | 29.2 | |
| 型号 | HDPRF150AP | |
| XY驱动 | 3040400008 | |
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