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产品概述 Product Overview

● 安装法兰:DN 350CF
● 衬底尺寸:3英寸
● 加热器:SiC加热器
● K型热偶测温

● 旋转速度:0~30 RMP
● 温度范围:RT-1000℃
● Z轴行程:50mm

● 定制长度

● 应用领域:薄膜制备、脉冲激光沉积、磁控溅射


相关配件 Options

● 手动(气动)挡板
● 水冷套
● 温度计:K型或C型热偶
● Z轴行程:最大250mm,手动/马达控制
● DPRF: ±180°,手动/马达控制


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标签: 低温样品架