| ● 最大工作温度2200℃ | ● 额外配备水冷法兰，降低对腔体热辐射 |
| ● 顶部具有特殊结构扩散板，提高束流均匀性 | ● 真空内长度可定制 |
氢/氧热 裂解源 | 模块描述 | 配置参数 |
| 型号 | E38AH | |
| 尺寸 | 安装法兰 | DN38CF |
| 真空内长度 | 343mm | |
| 真空内外径 | 35mm | |
| 工作距离 | 100-200mm | |
| 温度 | 工作温度 | 1800-2200℃ |
| 温度稳定性 | ≤0.1%，取决于PID温控器 | |
| 最高除气温度 | 2500℃ | |
| 最高烘烤温度 | 250℃ |
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