| ● 高温蒸发源最大工作温可达1800℃ | ● 超高温蒸发源最大工作温可达2000℃ | ● 程序控温，温度波动最小≤0.1% |
| ● 保温效果好，功率较低 | ● 内置电极水冷 | ● 真空内长度可定制 |
高温 蒸发源 | 模块描述 | 配置参数 | |
| 型号 | E38HT | E38UT | |
| 尺寸 | 安装法兰 | DN38CF | |
| 真空内长度 | 290mm | ||
| 真空内外径 | 36mm | ||
| 工作距离 | 200-300mm | ||
| 坩埚 | 坩埚容量 | 10cc | |
| 坩埚材质 | Al2O3, PBN, PG, W, Ta, Mo | ||
| 温度 | 热偶类型 | C型 | |
| 工作温度 | 800-1800℃ | 1000-2000℃ | |
| 温度稳定性 | ≤0.1%，取决于PID温控器 | ||
| 最高除气温度 | 1900℃ | 2000℃ | |
| 最高烘烤温度 | 250℃ | ||
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