EN 021-6525 3206

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简易碱金属蒸发源

简易碱金属源使用SAES碱金属释放剂,最多可同时安装3条碱金属释放剂,独立通道沉积。

无内置挡板。


规格说明
● 三条独立碱金属释放剂●  真空内长度可定制


简易

碱金属源

模块描述配置参数
型号E38AM
尺寸

安装法兰DN38CF
真空内长度125mm
真空内外径36mm
工作距离10-200mm
其他靶材SAES碱金属释放剂
工作电流取决于所选释放剂
最高烘烤温度250℃




产品尺寸

资源 26@4x.png

配套产品

碱金属条



FT=引脚长度

A=有效长度12mm 

以上所有尺寸单位:mm


碱金属材质

质量(mg)

起始蒸发电流(A)
平均值标准偏差
5.24.70.2
2.95.30.2
1.76.00.2
4.55.30.2
0.87.30.2
标签: 超高真空MBE
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