| ● 低温蒸发源最大工作温可达1100℃ | ● 中温蒸发源最大工作温可达1500℃ | ● 程序控温，温度波动最小≤0.1% |
| ● 保温效果好，功率较低 | ● 内置水冷和挡板 | ● 可选热口和冷口型的加热丝 |
| ● 真空内长度可定制，交货周期短 |
| 中低温蒸发源 | 模块描述 | 配置参数 | |||
| 型号 | E38LT | E38MT | E63LT | E63MT | |
| 尺寸 | 安装法兰 | DN38CF | DN63CF | ||
| 真空内长度 | 294mm | 328mm | |||
| 真空内外径 | 35mm | 62mm | |||
| 工作距离 | 200-300mm | ||||
| 坩埚 | 坩埚容量 | 10cc | 25cc | ||
| 坩埚材质 | Al2O3, PBN, PG, W, Ta, Mo | Al2O3, PBN | |||
| 温度 | 热偶类型 | K型 | C型 | K型 | C型 |
| 工作温度 | 100-1100℃ | 300-1500℃ | 300-1100℃ | 300-1500℃ | |
| 温度稳定性 | ≤0.1%，取决于PID温控器 | ||||
| 最高除气温度 | 1200℃ | 1600℃ | 1200℃ | 1600℃ | |
| 最高烘烤温度 | 250℃ | ||||
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