双温区蒸发源顶部和底部独立加热，底部蒸发区温度可达1000℃，顶部区可达1400℃，最大温差可达约600℃。无内置水冷，需搭配水冷套使用。可选带通孔或毛细管的内衬坩埚提高束流准直性。
| ● 顶部、底部温度最高可达1000℃、1400℃ | ● 程序控温，温度波动最小≤0.1% | ● 保温效果好，功率较低 |
| ● 50cc大容量坩埚，可选内衬坩埚提高准直性 | ● 真空内长度可定制 |
双温区 蒸发源 | 模块描述 | 配置参数 |
| 型号 | E38DZ | |
| 尺寸 | 安装法兰 | DN38CF |
| 真空内长度 | 290mm | |
| 真空内外径 | 37mm | |
| 工作距离 | 200-300mm | |
| 坩埚 | 外坩埚容量 | 50cc |
| 内坩埚孔径 | 0.5mm、0.7mm、3mm | |
| 坩埚材质 | PBN(外), Ta(内) | |
| 温度 | 热偶类型 | C型(顶部)、K型(底部) |
| 最高工作温度 | 1400℃ (顶部)、1000℃(底部) | |
| 温度稳定性 | ≤0.1%，取决于PID温控器 | |
| 最高除气温度 | 1500℃ (顶部)、1100℃(底部) | |
| 最高烘烤温度 | 250℃ |
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